Wolfram- und Molybdänteile für die Ionenimplantation
Wolfram- und Molybdänteile für die Ionenimplantation
Wir bieten hochpräzise ionenimplantierte Wolfram- und Molybdän-Ersatzteile.Unsere Produkte haben eine feine Partikelgröße, eine relative Dichte von mehr als 99 %, höhere mechanische Eigenschaften bei hohen Temperaturen als gewöhnliche Wolfram-Molybdän-Materialien und eine deutlich längere Lebensdauer.
Zu diesen Ionenimplantationskomponenten gehören:
•Abschirmzylinder für Elektronenemissionskathode.
•Startbrett.
•Mittelstange.
•Unterbrecher-Filamentplatte usw.
Informationen zu Ionenimplantationsteilen
| Produktname | Teile für die Ionenimplantation |
| Material | Reines Wolfram (W) / Reines Molybdän (Mo) |
| Reinheit | 99,95 % |
| Dichte | W: 19,3 g/cm³ / Mo: 10,2 g/cm³ |
| Schmelzpunkt | W: 3410℃ / Mo: 2620℃ |
| Siedepunkt | W: 5660℃ / Mo: 5560℃ |
| Hinweis: Bearbeitung nach Zeichnung | |
Ionenimplantation
Die Ionenimplantation ist ein wichtiger Prozess in der Halbleiterproduktion.Implanter-Systeme bringen Fremdatome in den Wafer ein, um Materialeigenschaften wie elektrische Leitfähigkeit oder Kristallstruktur zu verändern.Der Ionenstrahlpfad ist das Zentrum des Implantersystems.Dort werden Ionen erzeugt, konzentriert und mit extrem hohen Geschwindigkeiten auf den Wafer beschleunigt.
Bei der Umstellung der Ionenquelle auf Plasmaionen entstehen Betriebstemperaturen über 2000°C.Wenn der Ionenstrahl ausgestoßen wird, erzeugt er auch eine große Menge kinetischer Ionenenergie.Metall brennt und schmilzt im Allgemeinen schnell.Daher sind Edelmetalle mit höheren Massendichten erforderlich, um die Richtung des Ionenstrahlausstoßes beizubehalten und die Haltbarkeit der Komponenten zu erhöhen.Wolfram und Molybdän sind die idealen Materialien.
Warum Wolfram- und Molybdänmaterialien für Ionenimplantationskomponenten wählen?
•Gute Korrosionsbeständigkeit•Hohe Materialfestigkeit•Gute Wärmeleitfähigkeit
Sie sorgen dafür, dass die Ionen effizient erzeugt und im Strahlengang präzise und frei von Verunreinigungen auf den Wafer fokussiert werden.
Unsere Vorteile
•Hochwertige Rohstoffe
•Fortschrittliche Produktionstechnologie
•Präzise CNC-Bearbeitung
•Strenge Qualitätskontrolle
•Kürzere Lieferzeit
Wir optimieren basierend auf dem ursprünglichen Produktionsprozess von Wolfram- und Molybdänmaterialien.Durch Kornverfeinerung, Legierungsbehandlung, Vakuumsinterung und heißisostatische Presssinterverdichtung, sekundäre Kornverfeinerung und kontrollierte Walztechnologie werden die Hochtemperaturbeständigkeit, Kriechfestigkeit und Lebensdauer von Wolfram- und Molybdänwerkstoffen deutlich verbessert.
Halbleiter-Ionenimplantationstechnologie
Die Ionenimplantation ist ein häufig verwendetes Verfahren zur Dotierung und Modifizierung von Halbleitermaterialien.Die Anwendung der Ionenimplantationstechnologie hat die Entwicklung von Halbleiterbauelementen und der Industrie für integrierte Schaltkreise erheblich vorangetrieben.Damit tritt die Produktion integrierter Schaltkreise in die Ära des Large-Scale und Ultra-Large-Scale (ULSI) ein.
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Amanda│Verkaufsleiter
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