Wie funktioniert Magnetron-Sputtern?
Magnetron-Sputtern ist ein PVD-Verfahren (Physical Vapour Deposition), eine Klasse von Vakuumabscheidungsverfahren zur Herstellung dünner Filme und Beschichtungen.
Der Name "Magnetron-Sputtern" ergibt sich aus der Verwendung von Magnetfeldern, um das Verhalten der geladenen Ionenpartikel im Magnetron-Sputter-Abscheidungsprozess zu steuern.Der Prozess erfordert eine Hochvakuumkammer, um eine Niederdruckumgebung für das Sputtern zu schaffen.Das Gas, aus dem das Plasma besteht, typischerweise Argongas, tritt zuerst in die Kammer ein.
Zwischen der Kathode und der Anode wird eine hohe negative Spannung angelegt, um die Ionisation des Inertgases einzuleiten.Positive Argonionen aus dem Plasma kollidieren mit dem negativ geladenen Targetmaterial.Jede Kollision hochenergetischer Teilchen kann dazu führen, dass Atome von der Zieloberfläche in die Vakuumumgebung ausgestoßen werden und auf die Oberfläche des Substrats geschleudert werden.
Ein starkes Magnetfeld erzeugt eine hohe Plasmadichte, indem es die Elektronen in der Nähe der Zieloberfläche einschließt, die Abscheidungsrate erhöht und eine Beschädigung des Substrats durch Ionenbeschuss verhindert.Die meisten Materialien können als Target für den Sputterprozess dienen, da das Magnetron-Sputtersystem kein Schmelzen oder Verdampfen des Quellenmaterials erfordert.
Produktparameter
Produktname | Target aus reinem Titan |
Klasse | Gr1 |
Reinheit | Mehr 99,7 % |
Dichte | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 Stücke |
Heiße Verkaufsgröße | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Anwendung | Beschichtung für PVD-Maschine |
Lagergröße | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Andere verfügbare Ziele | Molybdän (Mo) Chrom (Cr) TiAl Kupfer (Cu) Zirkonium (Zr) |
Anwendung
■Beschichten integrierter Schaltkreise.
■Oberflächendisplays von Flachbildschirmen und anderen Komponenten.
■Dekoration und Glasbeschichtung etc.
Welche Produkte können wir herstellen
■Hochreines Titan-Flachtarget (99,9 %, 99,95 %, 99,99 %)
■Standard-Gewindeanschluss für einfache Installation (M90, M80)
■Unabhängige Produktion, erschwinglicher Preis (Qualität kontrollierbar)
Bestellinformationen
Anfragen und Bestellungen sollten folgende Angaben enthalten:
■ Durchmesser, Höhe (z. B. Φ100 * 40 mm).
■ Gewindegröße (z. B. M90 * 2 mm).
■ Menge.
■ Reinheit verlangt.