Auskleidungen für Elektronenstrahltiegel
Elektronenstrahl-Abscheidungsquellen sind mit einem Thermoelement-Filament zur Elektronenemission, Elektromagneten zur Formung und Positionierung des Elektronenflusses und einem entsprechend ausgelegten wassergekühlten Kupferofen zur Aufnahme des abzuscheidenden Ausgangsmaterials ausgestattet.Viele Materialien reagieren zerstörerisch mit diesen Kupferöfen bei den Temperaturen, die typischerweise bei der Vakuumbedampfung auftreten.Um eine thermische Wechselwirkung mit dem Kupferherd zu verhindern und eine gleichmäßige Wärmeverteilung innerhalb des Quellenmaterials sicherzustellen, ist es oft vorteilhaft, während der Elektronenstrahlabscheidung eine Herdauskleidung zu verwenden.
Diese Pads können in verschiedenen Formen und Größen hergestellt werden, um alle handelsüblichen Elektronenstrahlquellen aufzunehmen.Die Zusammensetzung des Liners ist sorgfältig auf das abzuscheidende Material abgestimmt, um wärmeerzeugende chemische Wechselwirkungen zu minimieren und die thermische Stabilität des Verdampfungsprozesses zu maximieren.
Wir können Tiegelauskleidungen für die Elektronenstrahlverdampfung liefern.Erhältlich in verschiedenen Materialien und Größen, passend zu Elektronenkanonen verschiedener Hersteller.Bitte kontaktieren Sie uns für Details und ein Angebot.
Wir produzieren auch Thermotiegel und HTE/LTE-Tiegel in verschiedenen Materialien.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 02.08.2023