Anwendung des Metallmaterials Tantal

Anwendung des Metallmaterials Tantal

Das Tantal-Target wird üblicherweise als bloßes Target bezeichnet. Zuerst wird es mit einem hinteren Kupfertarget verschweißt, dann wird Halbleiter- oder optisches Sputtern durchgeführt, und Tantalatome werden in Form von Oxid auf dem Substratmaterial abgeschieden, um eine Sputterbeschichtung zu realisieren; In der Halbleiterindustrie wird derzeit hauptsächlich Metalltantal (Ta) als Targetmaterial durch PVD-Beschichtung (Physical Vapour Deposition) und Bildung einer Barriereschicht verwendet.

Wie wir alle wissen, ist die Leistung von Metalltantal zwar relativ stabil, Metalltantalpulver mit relativ feiner Partikelgröße ist jedoch relativ aktiv und reagiert bei Raumtemperatur mit Sauerstoff und Stickstoff, was den Gehalt an Verunreinigungen wie Sauerstoff und Stickstoff im Tantal erhöht Pulver. Um ein qualitativ hochwertiges Tantal-Target zu erhalten, muss zunächst der Verunreinigungsgehalt im Tantalpulver reduziert und die Reinheit des Tantalpulvers erhöht werden. Die Reduzierung der Partikelgröße von Tantalpulver ist unbedingt erforderlich, um die Qualität von Tantalpulver und Tantal-Target zu verbessern.

Tantal-Targets werden hauptsächlich in der Halbleiterbeschichtung, optischen Beschichtung, Dekoration, Flachbildschirmanzeige, Funktionsbeschichtung und anderen optischen Informationsspeicherungsindustrien, Glasbeschichtungsindustrien wie Automobilglas und Architekturglas sowie in der optischen Kommunikation verwendet.

Halbleiter

Mithilfe eines PVD-Verfahrens (Physical Vapour Deposition) wird ein Tantal-Sputtertarget auf das Halbleitersubstrat „gesputtert“, um eine Dünnfilm-Diffusionsbarriere zum Schutz der Kupferverbindungen zu bilden. Tantal-Sputtertargets werden auch in einer Vielzahl anderer Produkte verwendet, darunter magnetische Speichermedien, Tintenstrahldruckerköpfe und Flachbildschirme.

Turbinenschaufeln von Triebwerken

Aufgrund seines hohen Schmelzpunkts und seiner Korrosionsbeständigkeit eignet es sich gut für Legierungsanwendungen. Tantal wird in Superlegierungen auf Nickelbasis verwendet, hauptsächlich in Turbinenschaufeln für Flugzeugtriebwerke und landgestützte Gasturbinen.

Ausrüstung für die chemische Verarbeitung

Die extrem hohe Korrosionsbeständigkeit und hohe Temperaturbeständigkeit machen das Metall zu einem idealen Werkstoff für die Auskleidung von Behältern, Rohren, Ventilen und Wärmetauschern in der chemischen und pharmazeutischen Industrie.

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