Drehziel aus Metall
Produktbeschreibung
Drehziel aus Metall
Zwischen dem Sputtertarget (Kathode) und der Anode werden orthogonale magnetische und elektrische Felder angelegt.Und füllen Sie das erforderliche Inertgas (normalerweise Ar-Gas) in die Hochvakuumkammer.Unter der Wirkung eines elektrischen Feldes wird Ar-Gas in positive Ionen und Elektronen ionisiert.An das Target wird eine bestimmte negative Hochspannung angelegt, die vom Target emittierten Elektronen werden durch das Magnetfeld beeinflusst, die Ionisationswahrscheinlichkeit des Arbeitsgases steigt, in der Nähe der Kathode bildet sich ein hochdichtes Plasma und die Ar-Ionen werden beeinflusst durch die Lorentzkraft.Beschleunigen Sie dann, um zur Zieloberfläche zu fliegen, und bombardieren Sie die Zieloberfläche mit hoher Geschwindigkeit, sodass die gesputterten Atome auf dem Ziel dem Prinzip der Impulsumwandlung folgen, von der Zieloberfläche zum Substrat fliegen und einen Film mit hoher kinetischer Energie abscheiden.
Um die Ausnutzungsrate des Targetmaterials weiter zu verbessern, wird eine Rotationskathode mit höherer Ausnutzungseffizienz konstruiert und ein röhrenförmiges Targetmaterial wird für die Sputterbeschichtung verwendet.Die Verbesserung der Sputterausrüstung erfordert, dass das Target von einer flachen Form in eine röhrenförmige Form geändert wird, und die Nutzungsrate des röhrenförmigen rotierenden Targets kann so hoch wie 70 % sein, was das Problem der geringen Nutzung des flachen Targets weitgehend löst.
| Produktname | Drehziel aus Metall |
| Material | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| Heiße Verkaufsgröße | ID-133/ AD-157 x 3191 mm ID-133/OD-157 x 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Kann auch nach den spezifischen Anforderungen der Kunden verarbeitet werden |
| MOQ | 3 Stück |
| Paket | Sperrholzkiste |
Hinweis: Wir produzieren hauptsächlich verschiedene Metalltargets, bitte kontaktieren Sie uns für Details.
Anwendung
Die Sputterbeschichtung ist eine neue Art von physikalischem Dampfbeschichtungsverfahren.Verglichen mit dem Aufdampfbeschichtungsverfahren hat es offensichtliche Vorteile
in vielen Aspekten.Metallzerstäubungstargets wurden auf vielen Gebieten verwendet.Die Hauptanwendung des rotierenden Ziels.
■Solarzellen
■Architekturglas
■Fahrzeugscheibe
■Halbleiter
■Flachbildfernseher usw
Bestellinformationen
Anfragen und Bestellungen sollten folgende Informationen enthalten:
☑Zielvorgabe ID×OD×L (mm).
☑Erforderliche Menge.
☑Bitte kontaktieren Sie uns für weitere spezielle Bedürfnisse.
